| モデル |
| 800シリーズ | 1000シリーズ | 1200シリーズ |
| 温度性能パラメータ |
| ヒートシンク温度範囲 | ℃ | -70~150 |
| ベースプレート温度範囲 | ℃ | -70~150 |
| ヒートシンク平均温度変化率 | ℃/分 | ≧2 |
| ベースプレート平均温度変化率 | ℃/分 | ≧2 |
| ヒートシンクの温度均一性 | ℃ | ±2 | ±3 |
| ベースプレートの温度均一性 | ℃ | ±2 | ±3 |
| 圧力性能パラメータ |
| 到達圧力 | パ | ≦5×10-5 |
| 使用圧力 | パ | ≤1.3×10-3 |
| メインポンプ排気時間 | h | 5 |
| 荷重のシミュレーション | kg | 10 | 15 | 20 |
| メインポンプ |
| 低温ポンプ |
| オイルポンプ |
| 高温および低温磁気ポンプ |
| バッキングポンプ |
| ロータリーベーンポンプ＋ルーツポンプ |
| 冷凍方法 |
| 機械的カスケード冷凍（液体窒素アシスト冷凍） |
| モデル |
| 800シリーズ | 1000シリーズ | 1200シリーズ |
| 温度性能パラメータ |
| ヒートシンク温度範囲 | ℃ | -70~150 |
| ベースプレート温度範囲 | ℃ | -70~150 |
| ヒートシンク平均温度変化率 | ℃/分 | ≧2 |
| ベースプレート平均温度変化率 | ℃/分 | ≧2 |
| ヒートシンクの温度均一性 | ℃ | ±2 | ±3 |
| ベースプレートの温度均一性 | ℃ | ±2 | ±3 |
| 圧力性能パラメータ |
| 到達圧力 | パ | ≦5×10-5 |
| 使用圧力 | パ | ≤1.3×10-3 |
| メインポンプ排気時間 | h | 5 |
| 荷重のシミュレーション | kg | 10 | 15 | 20 |
| メインポンプ |
| 低温ポンプ |
| オイルポンプ |
| 高温および低温磁気ポンプ |
| バッキングポンプ |
| ロータリーベーンポンプ＋ルーツポンプ |
| 冷凍方法 |
| 機械的カスケード冷凍（液体窒素アシスト冷凍） |
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